从一定意义上说，谁掌握最先进科学仪器，谁就拥有科技发展优先权。有了先进仪器，创新的思想才能如虎添翼。国家真空仪器装置工程技术研究中心就肩负着这样的使命，是他们挺起了民族科学仪器产业发展的脊梁。

    时间：2006年6月3日上午10点多地点：沈阳国家真空仪器装置工程技术研究

　　中心科研办公大楼向导：国家真空仪器装置工程技术研究中心

　　副主任张振厚这是一个周末的早晨。国家真空仪器装置工程技术研究中心副主任张振厚如约来到记者所在的酒店。由于记者的采访行程紧张，所以把时间安排到了周六，对此，心里总有点过意不去，可张主任却轻松地说：“没什么，要不然，我们周末也不会在家休息的。”

　　汽车穿越车水马龙的闹市区，驶上一条通往高新区的宽畅大道，张主任介绍说：中心是依托中科院沈阳科学仪器研制中心有限公司组建的，2003年提前一年验收，并在当年验收的10个工程中心当中排名第一，获得优秀工程中心称号。中心主要以真空技术为基础，引领国内超高真空、超洁净真空技术的发展，有30多项产品获得国家级新产品证书，拥有60多项国家专利，产品与技术，除满足国内市场需求外，还出口多个国家和地区，目前已经成为我国真空应用设备与科学仪器研制生产的重要基地。

　　车子很快驶进一片新厂区，一座白色的主体大楼和造型简约而现代的企业建筑群展现在眼前。张主任介绍说，为了实现中心的快速发展，中心在沈阳市政府和高新区的支持下购置土地110亩，建设了新厂区。目前看到的是一期工程，建筑面积3.5万平方米，共投资1.2亿元，已经建起了真空仪器装备和IC装备研发中心、精密加工厂房、特种工艺生产线、超净装调车间及检测、计量测试中心等，完全能够满足中心真空仪器装备和IC装备产业化生产需求。

　　乘电梯上到二楼，透过参观廊的玻璃窗，可以俯瞰到整个生产线。张主任告诉记者说：“这里是仪器设备装调车间，所有真空仪器设备和IC设备都在这里装配调试。正在建设中的洁净间的洁净度可达到千级和百级标准，以满足IC装备超洁净的环境要求。”再往前走是加工车间，整个加工车间大约有6000平方米左右。张主任介绍说，中心产品中，关键的机械部件都由自己加工生产。

　　整个新厂区的设计借鉴了国内外现代企业的建筑优点，可实现从原材料入库———机械加工———特种工艺处理———装配调试———检测出厂的全过程一线式流通，在楼体设计、工艺布局上体现了从效率出发，以生产为主的理念，结构配置非常合理。

    时间：2006年6月3日上午11点地点：沈阳国家真空仪器装置工程技术研

　　究中心五楼会议室向导：国家真空仪器装置工程技术研究中心

　　副主任张振厚国家真空仪器装置工程技术研究中心办公室主任吕迎新

　　参观完大楼里的设计大厅、开放式办公区、为引进海外技术团队配备的研发中心等之后，我们来到五楼的会议室，一同观看了中心的介绍宣传片。真是不看不知道，一看“吓一跳”。

　　除了前面介绍的用于“神五”相机的空间环境模拟实验装置外，该中心还参与设计了北京正负电子对撞机、合肥同步辐射实验室、兰州重离子加速器、上海三代光源等多项国家大科学工程所用的先进科学实验仪器装置，其科研实力由此可见一斑。不仅如此，该中心先后为高校、国家重点实验室和科研院所提供了几百台先进的前沿科研仪器，不仅打破了西方发达国家对我国实行的技术封锁，同时为国内实现自主技术创新做出了突出贡献。

　　为了抓住国际IC装备制造业向国内转移的大好时机，实现产品结构调整和参与国际竞争，3年前，该中心开始向IC装备制造领域进军，在解决行业关键技术方面，已取得了一系列科研成果。目前，该中心“IC装备超洁净真空获得系统”等多个IC装备有关项目分别得到国家发改委、国家科技部、中国科学院立项支持，多项技术填补国内空白并达到国际先进水平。

　　2005年，该中心利用在超高真空技术和精密机械加工的优势，与沈阳AMT公司合作，为美国最大的集成电路装备公司的子公司———AKT公司成功加工制造大平板显示屏零部件。

　　张主任告诉记者，继续为国家重大科学工程提供技术支撑，加快自主创新步伐，发展我国IC装备产业是国家真空仪器装置工程技术研究中心未来的发展方向，中心将以《国家中长期科学和技术发展规划纲要》和《国家十一五规划》为指导，在省、市各级政府的支持下，以IC装备成膜设备、超洁净真空获得系统等产品为主导，建设国内一流的集应用开发研究和新产品开发与推广于一体、具有持续创新能力和国际竞争能力的IC装备核心企业集团。