本报北京9月28日电
今天，国家863计划集成电路制造装备重大专项“100纳米高密度等离子体刻蚀机和大角度离子注入机”，通过科技部与北京市组织的项目验收。业主企业北京北方微电子公司和北京中科信公司与我国最大的集成电路代工厂中芯国际公司分别签订刻蚀机和离子注入机的批量采购合同。这是我国国产主流集成电路核心设备产品第一次实现销售，标志着我国集成电路制造核心装备研发取得重大突破。中共中央政治局委员、北京市委书记刘淇，科技部部长徐冠华，科技部副部长马颂德出席签字仪式。
这两种设备的研制成功，使我国高端集成电路核心设备技术水平跨越了5代。更为重要的是，这两种设备的技术水平基本与我国集成电路制造业主流技术水平更新同步，使未来2—3年我国集成电路制造业从180纳米向130和90纳米升级时可以使用上国产装备，有助于扭转我国集成电路制造装备受制于人的局面，对我国集成电路制造装备的自主创新能力和核心竞争力具有重要的战略意义。
集成电路装备业已成为高技术装备产业的典型代表。据预测，到2010年，我国集成电路产业投资累计将达到3500亿元，其中大部分将用于集成电路制造装备投资。这一趋势使得中国市场正在成为全球集成电路制造装备业竞争的焦点。
“十五”期间，科技部在863计划中设立了“集成电路制造装备”重大专项。由北京市组织实施的“100纳米8英寸多晶硅刻蚀机和大倾角离子注入机”完成了产品研制，在大生产线进行了近一年的检验考核，设备技术指标达到国际同类130—100纳米生产设备标准。
