全国产供应链的高精度三维晶圆光学检测装备研发

场景名称：全国产供应链的高精度三维晶圆光学检测装备研发
场景描述：为解决国产晶圆级光学检测设备昂贵、采购周期长、设备定制化难的问题，拟采用多频率相移轮廓法结合 LED 差分三角法、LED 差分多面频闪转镜等技术，研发全国产供应链的高精度三维晶圆光学检测装备，在检测精度和检测速度两个关键指标上达到国际先进水平，并降低设备成本和采购周期。
所属领域：教育科研领域；制造业领域；人工智能领域
负责单位：中国科学院沈阳自动化研究所、中国联合网络通信有限公司深圳市分公司
所需技术及要求：多频率相移轮廓法技术；LED差分三角法技术；多面频闪转镜技术；自动化硬件集成技术；视觉模组集成技术；视觉算法研发技术；上位机软件研发技术；无尘测试环境构建技术
现有基础：已完成自动化硬件集成调研、视觉模组技术方案规划、部分视觉算法开发和上位机UI设计，并完成无尘室指标和方案设计。
建设目标：实现国产高精度三维晶圆光学检测装备研发，降低设备价格，缩短采购周期，满足高端检测需求。
发布时间：2025.7
其他说明：空