智能在线检测分析系统升级改造

场景名称：智能在线检测分析系统升级改造
场景描述：为突破半导体设备关键部位检测依赖人工、精度一致性差、故障预警滞后等技术瓶颈，拟建设高精度、自动化、可分析的智能在线检测系统，实现设备状态可知、可测、可控。主要需求包括：1.高精度多模态视觉检测系统。针对设备微细结构缺陷难识别、检测标准不一的问题，集成高分辨率工业相机、多光谱成像与深度学习目标检测算法，构建适应复杂光照与背景的视觉检测网络，实现微米级缺陷自动识别、分类与量化评估。2.设备性能指标智能监测与健康预测平台。为解决设备关键指标监测不连续、故障预测依赖经验的问题，融合振动、温度、电流等多传感器时序数据，应用LSTM/Transformer预测模型与异常检测算法，实时监测设备健康状态，实现性能退化预警与剩余寿命预测，支撑预测性维护决策。
所属领域：制造业领域
负责单位：沈阳芯源微电子设备股份有限公司
所需技术及要求：空
现有基础：空
建设目标：空
发布时间：2026年2月
其他说明：空