国家集成电路工程设计引领者——全国工程勘察设计大师王毅勃专访

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“四川省杰出青年工程勘察设计师”

“四川省设计大师”

2016年12月30日荣获住建部颁发的

“第八批全国工程勘察设计大师”荣誉称号

 

今天

小编领队

让我们一起走进

国家集成电路工程设计带头人的日常

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王毅勃

1968年生人,1989年毕业于电子科技大学半导体物理和器件专业,研究员级高级工程师,享受国务院政府特殊津贴,现任信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司高级副院长。

主要致力于电子高科技领域工程专业设计和技术研究,在集成电路前后工序生产线、分立器件生产线、硅材料生产线等方面的工程设计和项目开发成绩卓越。

 

浓笔重彩 描绘“中国芯”

29年的设计历程,王毅勃记忆最深的是上海中芯国际FAB8 12英寸集成电路生产线项目。接手该项目之前,王毅勃虽然也参与了很多世界级知名工程公司的分包项目,但和国际先进水平还有一定差距。作为总设计师主持的中芯国际FAB8 12英寸生产线项目涵盖了大空间高级别净化间、数十种气体及化学品的供应,以及废液收集、废水处理、废气排放等行业高端工程,对王毅勃、十一院和国家集成电路产业来说,都是国家级难题。

“22摄氏度,正负1度,”是王毅勃最敏感的数字。这个温度是12寸芯片生产精度最佳环境温度,超过这个范围,芯片的品质会大打折扣。“就像我这间办公室,中央空调的温度不变,但是,你们三位进屋后,室内温度就会出现变化。虽然我们人体没有明显感觉,但是芯片已经受不了了!”比他办公室大百倍的生产空间,应对室外温度影响对他们都是小儿科的问题。最大的难题是生产设备的平面布置、维持高速运转的动力匹配、人员变化对环境温度的影响和芯片品质要求等等,这些都是王毅勃昼夜面对的难题。

王毅勃坦言,我们当时的技术水平跟国外世界级企业相差近20年,但我们没有退缩。他长期奔波在北京、上海、深圳等工程现场,时常半夜还在回复业主的邮件,回家看看是他最奢侈的期待。外出那些年王毅勃最期盼的就是春节放假,短短十几天里,没有业主、合作方的频繁电话,不用彻夜守候电脑旁回复客户邮件,不用来回奔波在路上,他可以开心的陪着妻子、女儿享受一年中最快乐的日子。

开弓没有回头箭,王毅勃凭借在电子科技大学半导体物理专业知识,特别是数年来跟西图、美施威尔、福陆等一批世界级行业领先工程公司合作积累的丰富经验,为胜任和完成国内行业重点工程打下了坚实基础。也就是通过一次次的摔打和磨砺,让王毅勃突破了这道难以逾越的高坎,在设计研究和项目把控上,让他游刃有余,胸有成竹。在对外项目中,不论是技术方案还是商务等全流程交流谈判,他凭借平时深厚的技术积累,高屋建瓴、举重若轻。

 

勇力潮头 添彩“十一院”

上海中芯国际项目是国内自主设计的首条12英寸集成电路芯片生产项目,总投资12亿美元,月产2万片的国际先进水平生产线,建筑面积116000平方米,是上海市重点工程。

项目具有世界先进工艺和工艺设备,整个生产线的工艺设备布置及动力配置都为国内首次自主完成。王毅勃带领工艺、建筑、结构、空调净化、动力、纯废水、供电、电照、通信及空间管理等11个专业70多人的设计团队,全方位与业主方、设备制造商、合作方等相关部门对接,确定工艺参数、生产设备的布置方案,根据生产要求制定净化、工艺排风、纯废水、特殊气体、化学品供应的系统容量及供应参数,并编制各专业的发包文件,同时完成土建、一般机电、消防等系统的施工图设计。

对于结构形式有差异的生产厂房,他们大胆采用设一道抗震缝划分为两个独立的结构单元,力求多层框架结构侧向刚度沿竖向变化均匀。为了保证光刻设备对微振的要求,采用国际领先的微振测试设备对素地的微振进行测试,并对抗微振结构体系进行了微振风险模拟,确保了厂房完成后的工作层满足微振在VC-D+ 的范围内;在净化专业的设计中,洁净度等级高,主厂房净化生产区为4.5级,面积近10000平方米,其中微环境的要求为1级。恒温恒湿且精度高,空调系统多而复杂,空气的热湿处理难度大。经过多方案技术经济比较,精心设计,使洁净室内温度、湿度、洁净度、正压都满足生产要求。

苦心人天不负,卧薪尝胆七十川甲可吞吴。王毅勃带领70多人的设计团队,历经无数个日日夜夜的奋战,在中芯国际项目中取得了重大突破,在设计领域内一举拿下多项设计成果,该项目荣获美国LEED绿色建筑认证金奖,为十一院赢得了至上荣誉。

如今,走上公司领导岗位,工作角色得以转换,对他的组织协调能力提出了更高要求。王毅勃形象比喻要像“八爪鱼”一样,各种问题都能够按住,还能有效把控并迅速解决。要想做好这项高难度的绝活,必须有专业的工作经历、了然于胸的技术积淀和科学的管理水平,这样才能具备对问题有预见性的先见之明。

 

子承父业 同门“两大师”

在王毅勃的办公室里,我们看到了十一院董事长、党委书记赵振元院长亲笔泼墨赠王唯国、王毅勃“同门两大师,父子共荣耀”的书法题词。

才悉知王毅勃的父亲也是十一院的暖通净化设计大师,参与过无锡华晶集成电路项目的工程设计。该项目是国家“六五”期间引进的东芝两片机技术,为当时国内紧俏的彩色电视机提供集成电路。王唯国老先生一直工作到七十多岁,才正式从设计岗位退下来,也是“第一批全国工程勘察设计大师”荣誉称号获得者。父子同荣,都为全国工程勘察设计大师,也是业界一美谈。

 

父辈和十一院元勋那种事业是生命全部的信仰和执着,激励着王毅勃这一代科技工作者,同时,他们对新技术、新事物、新理念的接受和应用,为电子信息科技工程设计研发事业注入了新的动能和活力。

“净化间设计技术包”是王毅勃参与设计的一项重要专利,对超大规模集成电路生产线的净化间设计提供了完整的解决方案。该技术包在上海华力微电子、中芯北方、中芯国际(深圳)等项目取得较好的效益,按此技术包要求采购的设备及材料金额超过8亿元。“高纯气体管线设计技术包”对包括氮气、氢气、氧气、氦气、氩气等大宗气体以及二十多种特殊气体输送的压力计算、管道阻力计算、管材,阀门材料的选择及安装清洗提供了完整解决方案,为超大规模集成电路生产线的高纯气体管线设计提供了蓝本。

在王毅勃看来,如今之所以取得如此巨大的成就,离不开十一院这片“沃土”,他所做的一切都是感恩之举,唯有不断进取,全力回馈公司、回报国家。

随着芯片进入纳米级时代,空气分子污染技术、超大空间净化及温湿度控制、大面积混凝土厂房无缝施工技术等已经成为微电子行业发展的新的课题。作为微电子企业的国内顶级设计公司,如何从源头做起,为集成电路企业的新设备、新工艺、新技术有效运行,最大限度的提供优质生产环境和流程设计,是王毅勃跟他团队永不停歇的工程。

END

来源 | 四川建设在线(sczfcxjs)

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责任编辑:王晓宇
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