科技日报记者 何亮
记者11月11日从中国中化获悉，中国中化旗下昊华宇航电子级氯化氢装置一次性开车成功，产出纯度达99.9999%以上的合格产品。这标志着该项目正式进入试生产阶段。
电子级氯化氢是制造电子信息产业关键材料的重要基础材料，主要用于大规模关键材料单晶硅片气相抛光、外延基座腐蚀及外延片刻蚀等核心工艺，对产品纯度和杂质含量要求极高。经检测，本次产出的产品总杂质含量≤0.2ppm，完全满足下游关键材料及外延片制造对超高纯气体的严苛需求。
自项目启动以来，面对极高的技术标准与紧张的建设周期，团队聚焦超高纯氯化氢的精馏纯化等核心技术环节，开展多轮技术优化和方案修改，最终敲定工艺方案。在施工与试车阶段，项目团队科学统筹、协同作战，严格把控各道工序与质量节点，确保了工程安全、质量与进度全程受控，最终实现了装置的“一次投料、一次成功”。
该项目是昊华宇航向电子化学品领域迈出的第一步，项目建成后，昊华宇航将在传统氯碱之外形成高端电子化学品生产能力，为产品结构调整和产业升级奠定坚实基础。
（中国中化供图）
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