科技日报记者 马爱平
日前，在2026慕尼黑上海光博会上，苏州中辉激光科技有限公司发布两个碟片激光平台——300W（瓦）纳秒紫外激光器平台和3000W（瓦）连续绿光激光器平台。
作为光刻机最核心、最难攻克的部分之一，极紫外光源长期制约我国高端半导体产业发展。而碟片激光是支撑极紫外光源发展的理想技术。碟片激光兼具高平均功率、大单脉冲能量、高光束质量等优势，已成为支撑先进制造、能源科技、半导体光刻的重要底层技术。
据悉，3000W连续绿光激光器平台聚焦AI算力、数据中心、新能源锂电等领域，可解决铜、铝等高反射材料焊接难题。该平台可实现高效、无飞溅、高可靠铜焊接，适配液冷板、散热模组、铜排、母线等高精密器件加工，为人工智能基础设施与新能源产业提供稳定、自主的核心光源支撑。300W纳秒紫外激光器平台则突破超导材料关键制备工艺瓶颈，将核心工艺与装备掌握在自己手中。在新型显示领域，该平台可支撑激光剥离、激光退火等关键制程，以更高稳定性、更优成本助力国产面板产业自主发展。
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