一片薄薄的外延片，是光子芯片最核心的上游材料，也是车载激光雷达的“心脏”。8月19日，记者跟随“活力中国调研行·万千气象看陕西”集中采访活动来到西安唐晶量子科技股份有限公司（以下简称唐晶量子）。
记者看到，无尘车间内技术人员正对6英寸VCSEL（垂直腔面发射激光器）外延片进行精细调试。“我们攻克6英寸VCSEL外延片核心技术，多项关键性能比肩国际先进水平，补上了国内光芯片上游外延材料的关键短板。”唐晶量子运营副总经理侯宏波表示，公司产出的外延片，广泛应用在车载激光雷达、3D识别、高速光通信、5G射频芯片等领域。
外延片的全球市场曾经长期被国外少数巨头垄断，国内企业面临技术空白和巨额设备投入的双重压力。初创企业建一条产线动辄上亿元，核心设备交期长达一年多。唐晶量子依托陕西光电子先导院的共享产线，仅用5个月就完成了传统模式下18个月的研发周期，实现6英寸VCSEL外延片国产化突破，相关产品在国内激光雷达市场占有率超70%。
不久前，企业成功研发出6英寸12节大功率VCSEL外延片。近期，唐晶量子“新一代高性能化合物半导体外延片智能制造与产能提升项目”获批。侯宏波表示，位于西安高新区的新生产基地全部投产后，外延片年产能将达到10万片规模。
（科技日报记者 王禹涵 陈汝健）
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