科技日报记者 刘垠
近日，由同济大学牵头的项目“皮米精确度的直接溯源型纳米几何量标准物质关键技术及应用”荣获2024年度中国计量测试学会科学技术进步奖一等奖。该项目提出了纳米长度直接溯源至量子化光晶格常数的新路径，建立了纳米级正交角度直接溯源新理念，发明了晶圆级标准片制造和定值的嵌入式溯源新技术。
纳米计量是集成电路等纳米制造的准绳，是集成电路量测设备准确性、一致性、可比性的核心支撑。纳米几何量标准物质是纳米计量体系中量值传递的“标准尺子”，“尺子”的准确性奠定了纳米量值传递的质量基础。与此同时，国际单位制变革为纳米计量“量子化和扁平化”的创新发展带来了新机遇。
据介绍，“皮米精确度的直接溯源型纳米几何量标准物质关键技术及应用”项目成果具有完全自主知识产权，已成功应用于国内外顶级计量机构，推动了纳米计量技术进步和国家标准装置能力提升。同时，项目应用于集成电路产业，支持了我国芯片制造良率的稳固提升和量检测设备的自主创新；应用于高端仪器仪表企业，提升了纳米计量的自主可控和产业链安全水平，“实现了用自己的尺子量自己的产品”。
在国家市场监督管理总局支持下，同济大学牵头筹建了国家集成电路微纳检测设备产业计量测试中心（上海），已成为我国集成电路纳米计量测试领域的重要力量。此外，同济大学在上海市教委支持下，设立了集成电路计量测试技术专项班和微专业，面向本科生和研究生教育，为集成电路产业建设计量测试人才梯队，有力地支撑了我国集成电路等纳米制造、纳米测量产业的高质量发展。
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