科技日报记者 刘侠 实习生 刘馨
近日，位于成都新津经开区的四川至臻精密光学有限公司（以下简称至臻光学）传来消息：其自主研发的航天级超光滑离轴非球面元件，成功突破亚纳米级精度并实现批量交付。
据了解，该产品将应用于遥感卫星、星载相机等空间强光光学测量的工作环境中，确保极端光强下的信息采集零失真，而至臻光学也成为西部地区唯一一家可批量生产交付亚纳米级航天超光滑离轴非球面元件的企业。
“它们就像卫星的‘眼角膜’，镜面越平整光滑，光线通过时散射就越少，成像就越清晰。”至臻光学精密抛光车间负责人曾昆华说，航天级的标准是面形精度RMS小于等于12纳米，而企业量产的产品实测做到了6纳米，“相当于头发丝的万分之一，在数十至数百毫米的全口径范围内，镜面整体起伏误差控制在纳米级。”他说。
同时，更考验工艺水平的是表面粗糙度。曾昆华解释，纳米级面形精度与亚纳米级表面粗糙度是评价光学元件质量的两个不同维度的指标，分别对应宏观几何形状误差与微观表面纹理误差，“表面粗糙度直接影响光能的传输效率，粗糙度过高会增加散射损耗、降低透射率、产生杂散光，甚至造成器件损坏。”他说，至臻光学正是突破了表面粗糙度亚纳米级的工艺水平，实现了可批量生产。
此前，高端离轴非球面光学元件长期被海外垄断，至臻光学的破局之路，则是自主研发离子束抛光机。这台设备在真空环境中，用高能离子束轰击镜面，通过原子级溅射一点点精修表面，全程非接触、无应力，从根源上解决了表面损伤问题。不仅如此，车间还配套了ZYGO白光干涉仪、LuphoScan轮廓仪等顶级检测设备，每一道工序都有量化标准，“从设计、加工、装配到调试测试，整条链都握在自己手里。”曾昆华说。
值得一提的是，这套亚纳米级加工工艺的价值还不止于航天领域。由于技术同源，相同的超精密抛光能力还可应用于激光通信、高端医疗、环境监测等领域。
一枚小小的航天镜片背后，折射出的是新津智能制造装备产业发展的硬核实力。目前，新津已集聚民航物流、希望森兰等智能制造装备重点企业，产业初具规模、特色明显，在工业传动控制、智能物流仓储、行业专用装备等领域已形成特色优势。
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