科技日报记者 王飞
将微米级悬臂梁和纳米级针尖的原子力显微镜（AFM）探针精准贴装到特定基座，这一长期被国外垄断的关键工艺，如今被中国科技企业成功突破。
近日，淄博探微纳米科技有限责任公司（以下简称“探微纳米”）的创新成果——《一种高精度AFM探针贴片对准放置装置》获得国家知识产权局颁发的实用新型专利证书。这项技术攻克了快速定位探针生产中的对准贴装工艺难题，标志着我国在该类产品全流程国产化道路上取得了实质性进展。
AFM探针是原子力显微镜的核心部件，其性能直接决定检测精度。而快速定位探针则是为提高半导体工业在线检测效率而设计，可将AFM探针固定在贴片上实现自动换针。
探微纳米本次获授专利的装置，通过创新的MEMS结构设计，成功解决了在微纳米尺度下探针芯片与基座的对准难题。据悉，这项专利技术的核心突破主要体现在两个方面。一是在超高对准精度方面，该装置显著提升了贴片位置的一致性，解决了微纳米尺度下的精准对位问题。二是在工艺稳定性与效率上，该技术极大减少了人为操作带来的不确定性，保证了产品的高良率与长期可靠性的同时，也提升了生产效率。
探微纳米此次的技术突破，意味着向该类产品的国产化迈出了关键一步，同时也将直接提升国产AFM的整体性能和市场竞争力，进而为我国半导体产业的自主创新发展提供更可靠、更自主的检测工具支持。
关键技术突破也迅速吸引了资本市场的目光。记者获悉，探微纳米的母公司探真纳米已于近期完成新一轮超过千万元的股权融资。探真纳米创始人崔波表示，新注入的资金将使企业有能力加速专利技术的产业化落地，扩大产能，并进一步投入下一代产品的研发。
原子力显微镜作为在材料科学、生物研究和半导体工业中不可或缺的表征工具，其核心部件的自主可控至关重要。随着这类“微小”而关键的技术节点被逐一突破，中国高端制造业的供应链正在变得更加坚韧和完整。
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